Éalúmar do Chóras Semiconductor & Pharma UPW: Conas a thionlann Críochnú Micro-Dhorcha ar Torthú an Táirge

Éalúmar do Chóras Semiconductor & Pharma UPW: Conas a thionlann Críochnú Micro-Dhorcha ar Torthú an Táirge

I bhfeistíocht semainneolaíochta agus i dteanntaíocht phárachumhach, is é an tUisce Reatha Púr (UPW) an tseasamhlaíocht do tháirgeadh. Is féidir le загрязнение ag leibhéal pharts san iocht (ppb) nó fiú pharts san tréimhse (ppt) dochar mór a dhéanamh ar tháirgeadh. Cé gur thábhachtach atá prósáidí cócaireachta uisce, bíonn ról cothroime ag na hairgí a threorann UPW—de ghnáth éadromhain neamhghníomhach—freisin. Tugann críochnú na micro-chorraine ar chomhpháirtí éadromhain neamhghníomhach an riosc загрязнения, foirmiú biofilm, agus ar deireadh, ar tháirge. Seo anailís mhionsonraithe ar chúis le tabhairt faoi deara an críochnú agus conas é a roptamú.

? 1. Cén fáth a bhfuil críochnú chorraithe neamh-umhtháilteach i gCórais UPW

Caithfidh UPW a bheith ina seasamh le haghaidh caighdeáin púrachta éagsúla:

• Leictreonící leathnua : Seasmhacht ≥18.2 MΩ·cm, carbur glan iomlán (TOC) <1 ppb.

• Pharma : Comhlíonadh na dtreoracha USP <643> agus EP <2.2.29>.

Cruthaíonn corraineanna amhail seo:

• Táimhseáil bhiotacha : Bíonn biofilms i gcónaí ar mhéid amháin easpa corraine.

• Páirticí a bhuailfidh amach : Briseann na micro-bhreagaí, ag tabhairt isteach загрязнители metalacha.

• Tosaíocht caillithe : Luasúnaíonn anáil crevice corrosion, ag scaoileadh ioinn (Fe, Cr, Ni).

? 2. Iontas Críochdhearcadh: Ra vs. Rmax

• Ra (Luas Meán Aritmeatach) : An t-ine a úsáidtear go minic, ach neamhshoithí do UPW. Is féidir le Ra ≤0.5 µm fós "peak-and-valley" míchuíomhanna a bhailiú.

• Rmax (Airde Mhórmhaighin ó Bhreis go hIonad) : Ríthábhachtach do shonraíochtaí UPW. Ag sainiú Rmax ≤0.5 µm a chinntíonn nach bhfuil aon eisceachtaí eitilte.

• Críochdhearcadh Electropolished : An t-óstán ór. Léiriúnaíonn sé micro-peaks, méadaíonn sé cruthú an dlíse pasach, agus laghdaíonn sé an t-achar dhéadach éifeachtach.

⚙️ 3. Conas a thiontaíonn Críochdhearcadh Iontas ar загрязнение

A. Colónaitheacht Bactéarach

• Tuzaintí géar (Ra >0.8 µm) soláthraíonn páirceanna cosanta do bactéirí cosúil le Pseudomonas oR Ralstonia , a fhorleathann i dtír an t-uisce.

• Torthaí : Cailleann na biofilmí cealla agus iontuinsíochtóin sa t-uisce, ag tabhairt faoi phian sna hearráidí nó sa загрязнение leigheas in-intoilgte.

B. Gintearraic Ginteach

• Tuzaintí neamhchloíodh cailleann píosaí leathana i leith na tuirseachta srutha.

• I meascanna na leictreonaigh, cuireann na píosaí seo leis na scraitheanna nó na míchuíochtaí sa phoiteografaíocht.

C. Liogáil Iondanna Maitheach

• Glanntaíonn craicbhreacshúileacha an t-uisce, agus seo a leanas airdearlasadh áitiúil agus saothrú ioinaí (mar shampla, Fe³⁺, Cr⁶⁺).

• Impeachta : Iontas na hiain mheata luchtúcháin i léighas nó laghdaíonn béim dielectric ar chipeanna.

?️ 4. Críochnúchtán Perféctach a Bhaint Amach: Polúchadh Meechanúil vs. Eleictreopolúchadh

Polúchadh Meechanúil

• Próiseas : Granáil seiceánta le cláracha caillí (mar shampla, 80 go 600 grit).

• Cásanna faoi rítháil : Scaoilteann sé haghaidh an mheata, agus seo agus iad ag cur isteach ocsaídí agus áitanna "plucking" a chruthú don saothrú amháin sa todhchaí.

• Is Móracht a Bhaint amhail : Ra ≈0.3 µm (maith, ach ní an rud is fearr le haghaidh UPW).

Electropolishing

• Próiseas : Tóireamh anóid in íochtar aigéid (mar shampla, aigéad fosfóraic-sulfúiric) a bhaint amach ~20–40 µm de réir dromchla.

• Saintréithe :

  • Laghdóann sé Ra go ≤0.15 µm agus Rmax go ≤0.5 µm.

  • Scealtaíonn sé an dromchla le sraith tiubh, aonfhoirmeach ocsaíd chróm.

  • Baineann sé seo le truailleáin iompraithe agus micre-cracks a bhaint as.

• Caighdeáin a Cheanglaítear : Lean ASTM B912 le haghaidh pasfhoilsiú agus SEMI F19 le haghaidh leictreolaisithe.

✅ 5. Roghnú ábhair: Níos mó ná 316L

Cé go bhfuil 316L caighdeánach, smaoinigh:

• Leaganacha Ísealcharbóin : coscann 316L le <0.02% C a bheith íogair le linn an fhuaime.

• Grád leictre-phollála (EP) : Soláthraíonn muilte 316L-EP le rialaithe ionchuir níos déine (m.sh., sulfúr < 0,001%).

• Comhphiannta Athchuir : I gcásanna éigeantacha, soláthraíonn 904L nó comhphiannta 6% Mo (mar shampla, 254 SMO) neart a bhreise ar an gcorrósion.

? 6. Daingniú agus Tástáil

Próifílóireacht Achrann

• Úsáid próifilimeadóirí teagmhálacha (stua) nó neamhtheagmhálacha (lasair) chun Ra/Rmax a fhíorú.

Tástáil Fherróics

• Braithann sé ar загрязнение iarainn saor—ceist coitianta tar éis poileáil mhéarchlártha.

Tástáil Uisce

• Rianraíonn sé TOC, endotoxins agus líon na dtráthán san uisce asphuingeach.

• Criteachtaí glacadh : ≤5 tráthán/mL (don méid ≥0.1 µm) agus endotoxins <0.001 EU/mL.

? 7. Coimirce: Coinneáil Raonta Gan Chosúlacht

• Pasivation : Passivation uathuachta nó sitríceach uathuachta in éineacht le ASTM A967 chun an tshliabh chróim a athbheoú.

• Glantóireacht Cheimiceach : Seoithíní a bhfuil clóraid ann leo a chosc. Úsáid óisín nó hairis hidrigin le haghaidh biofilm.

• Iniúchadh : Seoithíní rianaithe borescope ar róidí agus tiombáin do thormán (iasc ócsaid) a chruthú.

? 8. Cás-Staidéar: Ardú Ar Chruinniú Ardhúchasach Suas an Torthúlacht

• Fadhb : Tháinig fabhrac semiconductóir i dtagairt le hearráidí píosaí ar phlátaí 7nm.

• Géineadh Bunúcháire : Róidí UPW le Ra ≈0.6 µm (polaithe meicniúil) a chaill píosaí le linn sraitheanna srutha.

• Réiteach : Ballaí leictre-polaite 316L-EP (Ra ≤0.15 µm) a chuir in ionad na bpéireanna.

• Torthaí : Lagaigh na cuntais píosaí 70%, agus tháinig méadú 5% ar thorthúlacht na bpálaí.

? 9. Bunfhoinnseachtaí do Chomhpháirteanna UPW

✅ 10. Chunclúid: Infheistigh sa Chruinneas, Cosnaigh Torthúlacht

I gcórais UPW, is ea an difríocht idir ardthorthúlacht agus theip thochtmhar le sonrú na haighneachta ar scál mheascánach. Níl leictrepholaithint mar chostas é—ní hamháin é polasaí eisiachta. Trí na cruinneasraíocht is ísle-Ra/Rmax a shonrú, iniúchadh le próifiliméadaracht agus cosaint ar na prótacail soilseachta is gá duit, a chinntiú go dtacaíonn do infrastruchtúr de stáinlis croítheach le do chur i gcrích—ní hamháin é a scriosann do chuspóirí táirgeachta.

Leideanna Pro : Nuair a bheidh comhpháirtí á bhailiú, éiligh tuarascáil bhunaithe ar chóras tástála do ghlúineacht achrann agus éiligh leictrepholaithint ón gcuradóirí a bhfuil rún againn leo de réir na n-earraí F19 SEMI.